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今天,佳能正式官宣,發布了最新的i線步進式光刻機“FPA-5550iX”,該產品能夠同時實現0.5μm(微米)高解像力與50 x 50mm大視場曝光,該產品可用于全畫幅CMOS、頭戴顯示器等小型顯示設備的曝光工序、高對比度微型OLED顯示器制造等領域。
所謂i線也就是光源來自波長365nm的水銀燈,和EUV光刻機使用的13.5nm波長激光等離子體光源區別明顯。