邁鑄半導體正式推出MEMS芯片級線圈產品

【資料圖】

螺線(Solenoid)線圈在電子行業的眾多領域都有著極廣泛的應用:在傳感器中,可作磁通門或者巨磁阻的激勵線圈、電流傳感器的感應線圈等;在執行器中,可用于微驅動,例如智能手機中觸覺反饋Taptic Engine、手機攝像頭變焦和電磁推桿等;在能量采集器中,可用于電磁式振動能量采集器的線圈;在功率電子器件中,可用作扼流的共模線圈,也可用作傳導電能的變壓器和功率電感;在射頻系統中,用于頻率發生、信號發射和接收等功能。

螺線線圈由著名的物理學家安培于1820年發明,其本質上可以看作是一個電磁相互作用的放大器。螺線線圈發明已經有200多年,除部分用疊層工藝和半導體薄膜工藝外,目前線圈主要還是由漆包線繞制而成。因為作為一種復雜的三維金屬結構,毫米級螺線線圈在晶圓上的批量制造極具挑戰性。

△ 基于MEMS線圈的可發電手表

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